我学者实现三维微纳米超结构的可控制备

科技日报合肥8月31日电（记者 吴长锋）记者从中国科大获悉，该校合肥微尺度国家研究中心王晓平教授课题组，通过基于该课题组前期提出的光刻胶软掩膜沉积技术，实现了一种高精度高自由度的三维微纳米超结构的可控制备方法。相关研究成果结果日前发表在《先进材料》期刊上。

超材料通常指的是通过人工设计制造的具有自然界中并不存在的特殊性质的材料。它作为一门新兴的学科兴起于本世纪初，并逐渐成为一门重要的交叉学科。由于超材料在诸多方面表现出的奇异特性，使得它成为未来新兴材料的重要研究方向。但是在如何实现超材料的实际应用中，面临的一个重要难题，就是缺乏可控的制备三维微纳米结构的方法。

研究过程中，科研人员借助合肥光源红外谱学和显微成像线站（BL01B）的高亮度红外显微谱学技术，对不同结构的三维微纳米超结构进行了其微区透射反射谱的测量，获得了图案形貌对不同光波段的响应特性。研究发现，这种方法制备的竖直方向纳米劈裂环对其高度值具有明显的线性响应关系但是对周期大小的响应不明显。通过使用高精度对准技术，科研人员还实现了在竖直劈裂环上不同位置的精确开孔，从而得到了光学响应完全不同于普通竖直纳米劈裂环的超结构。

在此超结构中，研究者发现了类似于法诺响应的谱学形貌，该特性可能在高灵敏光学探测方面具有重要应用。